Thay đổi ống m w88 tuyến tính nhanhLLC
Có thể cài đặt tối đa 8 ống m w88 để chuyển đổi nhanh chóng
Đây là bộ thay đổi vị trí ống m w88 mục tiêu tốc độ cao có hiệu quả trong các quy trình thường xuyên chuyển đổi độ phóng đại của ống m w88 khách quan, chẳng hạn như mảng TFT, kiểm tra và sửa chữa photomask
tính năng
- #1 →#6 cho phép chuyển đổi ống m w88 tốc độ cao trong dưới 0,5 giây
- Độ chính xác vị trí ống m w88: ± 0,1 HOẶC LESS
- Lớp 100 tương thích phòng sạch
Đặc điểm kỹ thuật
| llc2 | LLC4 | LLC6 | LLC8 | LLC3+ |
|---|---|---|---|---|
| Số lượng ống m w88 tối đa | 2 | 4 | 6 | 8 |
| Trung tâm khoảng cách ống m w88 đến trung tâm | 35mm | 38mm | 38mm | 38 mm |
| Loại động cơ | Động cơ bước | Động cơ tuyến tính trục | Động cơ tuyến tính trục | Động cơ tuyến tính trục |
| Thực hiện truyền động chuyển động | Bộ truyền động tuyến tính | Đầu cố định & đầu mã hóa | Đầu cố định & đầu mã hóa | Đầu cố định & đầu mã hóa |
| Bộ mã hóa | - | Bộ mã hóa tuyến tính | Bộ mã hóa tuyến tính | Bộ mã hóa tuyến tính |
| servo loại | - | servo tuyến tính được điều khiển bằng kỹ thuật số | servo tuyến tính được điều khiển bằng kỹ thuật số | servo tuyến tính được điều khiển bằng kỹ thuật số |
| Độ chính xác định vị servo | ± 01 Pha | ± 01 Pha | ± 01 Pha | ± 01 Pha |
| Độ lặp lại định vị | ± 3 Pha | ± 01 Pha | ± 01 | ± 01 Pha |
| Vòng bi | Xô điện chính xác cao | Xô điện chính xác cao | Xô điện chính xác cao | Xô điện chính xác cao |
| Bộ điều khiển được đề xuất | MCX | MFC | MFC | MFC |
| Ống m w88 không có trọng lượng | 18kg | 32kg | 41kg | 5,4kg |
| Kích thước (L × W × H) mm | 126 × 85 × 28 | 433 × 102 × 75 | 576 × 102 × 75 | 395 × 102 × 75 |
| Điện áp cung cấp | 24V | 48V | 48V | 48V |
| hiện tại đỉnh | 1A | 25a | 25a | 25a |
| Tuân thủ | phòng sạch lớp 10 semi | phòng sạch lớp 10 semi | phòng sạch lớp 10 semi | phòng sạch lớp 10 semi |
Thời gian thay đổi ống m w88
| Thời gian thay đổi ống m w88 | llc2 | LLC4 | LLC6 | LLC8 | LLC3+ |
|---|---|---|---|---|---|
| 1-8 | - | - | - | 07S | - |
| 1-7 | - | - | - | 06S | - |
| 1-6 | - | - | 0,5S | 05S | - |
| 1-5 | - | - | 04S | 04S | - |
| 1-4 | - | 04S | 04S | 04S | - |
| 1-3 | - | 03S | 03S | 03S | - |
| 1-2 | 2S | 02S | 02S | 02S | - |
Thông số kỹ thuật cho LLC3+
| Thông số kỹ thuật cho LLC3+ | 3L Chèn | 4L Chèn | 3S Chèn | 5S Chèn |
|---|---|---|---|---|
| Số lượng ống m w88 tối đa | 3 | 4 | 3 | 5 |
| Loại ống m w88 khách quan | Đường m w88 lớn (44mm) | Đường m w88 lớn (44mm) | Standard | Standard |
| Ánh sáng vòng khách quan | Không | Không | Có | Không |
| Trung tâm khoảng cách ống m w88 đến trung tâm | 5475mm | 36,5mm | 5475mm | 27,38mm |
| Ống m w88 không có trọng lượng | 16kg | 16kg | 16kg | 16kg |
Thời gian thay đổi ống m w88
| Thời gian thay đổi ống m w88 | 3L Chèn | 4L Chèn | 3S Chèn | 5S Chèn |
|---|---|---|---|---|
| 1-5 | - | - | - | 04S |
| 1-4 | - | 04S | - | 04S |
| 1-3 | 04S | 03S | 04S | 03S |
| 1-2 | 02S | 02S | 02S | 02S |
Tài liệu kỹ thuật
Mẫu yêu cầu cho sản phẩm này
Vui lòng đợi biểu mẫu xuất hiện
Nếu biểu mẫu không xuất hiện sau khi chờ một lúc, chúng tôi xin lỗiở đây