link w88 Kính hiển vi quét laser hồng ngoạilink w88
Đối với kiểm tra khiếm khuyết dưới bề mặt vô hình
Các khiếm khuyết dưới bề mặt vô hình và các khiếm khuyết sản xuất như microcracks và microvoids thường bị bỏ qua
tính năng
Kính hiển vi đồng tiêu gần hồng ngoại để kiểm tra nội bộ silicon
Kết hợp laser gần hồng ngoại mạnh mẽ với kính hiển vi đồng tiêu quét đã tạo ra một số lợi thế độc đáo hơn đối với các hệ thống kính hiển vi IR khu vực rộng truyền thốngĐầu tiên, chúng ta sẽ tạo ra một hình ảnh độ phân giải cao của các phần mỏng hoặc các phần quang học của các mẫu trong suốt hoặc bán trong suốtCấu hình hệ thống này cũng dẫn đến sự thâm nhập sâu hơn vào mục tiêu, độ phân giải cao hơn và thu nhận hình ảnh nhanh hơn
10120_10165
20x Hình ảnh đồng tiêu của một mảng TFT phản ánh cấu trúc bóng bán dẫn dưới một ma trận đen
Quan sát kép liên tục chỉ bằng một cú nhấp chuột trong khi giữ tập trung
link w88 bao gồm máy ảnh CMOS màu và hệ thống chiếu sáng LED cho hình ảnh Brightfield, cho phép các nhà khai thác nhanh chóng chụp các khu vực sử dụng dự định của họHệ thống kiểm tra bề mặt được trang bị laser gần hồng ngoại và kính hiển vi đồng tiêu quétSự kết hợp này cho phép hình ảnh sâu hơn lên tới 800 Pha dưới bề mặt của mẫuBạn có thể chuyển đổi giữa phương thức quan sát này chỉ bằng một cú nhấp chuột
Các phép đo XY tuyến tính và khả năng thu nhận hình ảnh nâng cao
Các phép đo "điểm-đến điểm" và "điểm-điểm" tuyến tính là có thể trong tab Đo lường trong phần mềmCác phép đo được ghi lại và lưu trữ trong phần mềm ở định dạng bảng và cũng có thể được xuất trong csv để phân tíchHệ thống có các tùy chọn thu nhận hình ảnh nâng cao, cho phép tính trung bình của khung, hình ảnh trung bình, các lớp Z Delta Z tối đa và trình tự hình ảnh đơn giữa các chuỗi hình ảnh hai điểm, vv
thói quen kiểm tra hoàn toàn tự động
Kết hợp với động cơ link w88 và tự động lấy nét với phần mềm điều khiển tự động hóa, nó có thể được cấu hình để thực hiện thói quen kiểm tra hoàn toàn tự độngThông qua giao diện người dùng đơn giản và trực quan, bạn có thể xác định một loạt các tham số vị trí riêng lẻ như ROI, độ phóng đại, độ sâu và cài đặt độ sáng chiếu sángNhững thói quen này có thể được chạy trên nhiều mẫu, cung cấp tự động hóa hoàn toàn quy trình kiểm tra
Tạo công thức nấu ăn để kiểm tra thông lượng cao
link w88 có thể tạo và thực hiện các công thức kiểm tra đầy đủ cho cả wafer và dải IC và gói khayXác định wafer, khay hoặc dải và tham số IC có thể dễ dàng thực hiện thông qua giao diện hình ảnhHàm phát hiện góc tự động đăng ký vị trí IC bất kể căn chỉnhSau khi tạo công thức, công thức được chạy so với các mẫu riêng lẻ khác hoặc trên toàn bộ khay hoặc dải thiết bị, đảm bảo độ chính xác, độ tin cậy và hiệu quả tổng thể của kiểm tra
Đặc điểm kỹ thuật
| thể loại | Đặc điểm kỹ thuật | Hệ thống link w88 | Hệ thống LSCM |
|---|---|---|---|
| Hệ thống chung | lớp hệ thống | Lớp 1 | Lớp 1 |
| Phương pháp quan sát | NIR Laser Scan Gunocal,BRIGHTFIELD thông thường | NIR Laser Scan Gunocal,BRIGHTFIELD thông thường | |
| Điện | 3 Cửa hàng AC riêng biệt, 100-240 V,50/60 Hz, một pha | 3 Các cửa hàng AC riêng biệt, 100-240 V,50/60 Hz, một pha | |
| hiện tại | 130 Một hệ thống tổng số | 130 Một hệ thống tổng số | |
| Nhiệt độ hoạt động | 10 đến 30 ℃ môi trường xung quanh | 10 đến 30 ℃ môi trường xung quanh | |
| Độ ẩm hoạt động | < 70% non-condensing | < 70% non-condensing | |
| Trọng lượng (đơn vị chính) | 900 kg | 175 kg | |
| Lens Changer | Tháp pháo cơ giới | 6 dung lượng ống kính | 6 dung lượng ống kính |
| Z Giai đoạn | Stroke | Động cơ, đột quỵ 50 mm | Hướng dẫn sử dụng, 75 mm Stroke |
| Bộ truyền động Z có động cơ(Hybrid ZAA cũng có sẵn cho link w88 tốc độ cao) | loại | 1/32 Động cơ bước | 1/32 Động cơ bước |
| Travel | 10 mm | 10 mm | |
| Độ phân giải | 0157 μm | 0,250 μm | |
| Tốc độ tối đa | 10 mm/giây | 10 mm/giây | |
| Tải tối đa | 3,5 kg | 3,5 kg | |
| Giai đoạn XY cơ giới(Giai đoạn thủ công cũng có sẵn cho LSCM) | loại | Động cơ bước mã hóa tuyến tính | Động cơ bước mã hóa tuyến tính |
| Travel | 300 mm x 300 mm | 200 mm x 200 mm | |
| Độ phân giải | 0,1 μm | 0,1 μm | |
| Tốc độ tối đa | 120 mm/giây | 120 mm/giây | |
| Độ chính xác | 20 m/300 mm | 20 m/300 mm | |
| Độ lặp lại | 1 m | 1 m | |
| Tải tối đa | 1 kg | 1 kg | |
| Autof Focus | Mẫu ánh sáng có cấu trúc | Phân đoạn dòng | Phân đoạn dòng |
| bước sóng cảm biến | 658nm | 658 NM | |
| Máy dò hình ảnh | CMOS quét khu vực | CMOS quét khu vực | |
| OOA cơ giới | Phạm vi độ sâu | 0 đến 800 μm | 0 đến 800 μm |
| Illumination | loại | Đèn LED trắng siêu sáng | Đèn LED trắng siêu sáng |
| Máy ảnh CMOS của Brightfield | size | 1/2 inch 2 MP CMOS | 1/2 inch 2 MP CMOS |
| Độ phân giải | 1600 x 1200 | 1600 x 1200 | |
| tốc độ khung hình | 10 FPS Độ phân giải đầy đủ | 10 FPS Độ phân giải đầy đủ | |
| Độ sâu bit | 10 bit | 10 bit | |
| kích thước pixel | 42 m x 42 μm | 42 m x 42 μm | |
| ánh sáng đồng tiêu | loại | Diode Laser chế độ đơn | Diode laser chế độ đơn |
| công suất laser tối đa | 500 MW | 300 MW | |
| bước sóng | 1155nn | 1178 NM | |
| Chiều rộng phổ điển hình | 50nm | 23nm | |
| Photodetector đồng ý | Phạm vi phản hồi quang phổ | 900nm ~ 1700nm | 900nm ~ 1700nm |
| Độ phân giải | 496 x 500 | 512 x 512 | |
| Độ sâu bit | 8 bit | 8 bit | |
| Kích thước pixel ảo | 7,5 μm tiêu chuẩn | 7,5 μm tiêu chuẩn |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x*1 | |
|---|---|---|---|---|---|
| Khẩu độ số | 0.1 | 0.3 | 0.45 | 0.65 | 0.85 |
| Khoảng cách làm việc | 23 mm | 18 mm | 83 mm | 4,5 mm | 12 mm |
| Số trường | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
| Cổ áo hiệu chỉnh | - | - | Có | Có | Có |
| hiệu chỉnh độ dày thủy tinh | - | - | 0 ~ 12 mm | 0 ~ 12 mm | 0 ~ 0,7 mm |
-
*1Mục tiêu 100x là tùy chọn trên LSCM
Vẽ
Hệ thống link w88
Hệ thống LSCM
Tài liệu kỹ thuật
Datasheet
Mẫu yêu cầu cho sản phẩm này
Vui lòng đợi biểu mẫu xuất hiện
Nếu biểu mẫu không xuất hiện sau khi chờ một lúc, chúng tôi xin lỗiở đây