kèo nhà cái w88 băng hẹp EUV
kèo nhà cái w88 nhiều lớp trong phạm vi EUV bình thường đã được sử dụng làm đơn sắc vì chúng nằm trong phạm vi bước sóng hẹp (thông thường: Δλ 0,5nm ở λ = 13nm) Thiết kế lớp phủ mới đã khắc phục vấn đề độ phân giải này
Biểu đồ bên trái cho thấy độ phản xạ ở bước sóng 13,5nm của kèo nhà cái w88 băng hẹp EUV được đo bằng máy đo phản xạ PTB trên Berlin Synchrotron Bessy II Độ rộng đầy đủ của một nửa tối đa (FWHM) đã được cải thiện rất nhiều với các đơn đặt hàng phản xạ bậc cao hơn Tốc độ hấp thụ càng cao, độ phản xạ giảm Do đó, thiết kế lớp phủ tối ưu phải được xem xét giữa phản xạ và FWHM
sử dụng
- Bộ đơn sắc của Synchrotron Nguồn
- Bộ đơn sắc của nguồn plasma
- quang phổ (ví dụ: vật lý thiên văn)
- Lựa chọn điều hòa laser xung ngắn
- Đặc điểm của nguồn plasma
Tùy chỉnh
- Sản xuất kèo nhà cái w88 EUV băng thông rộng tùy chỉnh
- Tối ưu hóa phạm vi bước sóng đặc biệtVí dụ: 2,5 đến 15,5nm, 13 đến
- Tối ưu hóa góc tớiVí dụ: 0 ° đến 20 °, 0 ° đến 30 °
- Sở thích hơi trên các vật liệu khác nhauVí dụ: Silicon, Zerodure ™, ULE ™
Mẫu yêu cầu cho sản phẩm này
Vui lòng đợi biểu mẫu xuất hiện
Nếu biểu mẫu không xuất hiện sau khi chờ một lúc, chúng tôi xin lỗiở đây