Giai đoạn đa trục Eitzenberger, kết hợp kèo nhà cái w88 khí và ổ đĩa trực tiếp, kiểm soát mức độ tự do của XYZ- với độ chính xác của nanometChúng tôi có một loạt các gantry có độ bền cao để nhỏ gọn các đơn vị XY, và thiết kế không ma sát giúp loại bỏ các vết trượt và phản ứng dữ dộiNó kết hợp hoạt động tốc độ cao lên tới 1 m/s với độ lặp lại ± 20nm, làm cho nó trở nên lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn, xử lý laser và đo lường chính xác Nó cũng hỗ trợ mở rộng tùy chỉnh phù hợp với nhu cầu của bạn
Dòng sản phẩm
-
kèo nhà cái w88 khí tích hợpXY Giai đoạnEZ-0117
Đột quỵ: 250 mm x 450/800 mmKhả năng tái tạo: ± 75nm
-
kèo nhà cái w88 khí tích hợpGiai đoạn Gantry XYEZ-0714
Đột quỵ: 500/600 mm x 500 mmKhả năng tái tạo: ± 50nm
-
kèo nhà cái w88 khí tích hợpGiai đoạn Gantry chính xác caoEZ-0715
Đột quỵ: 350 mm x 450 mmKhả năng tái tạo: ± 20nm
-
kèo nhà cái w88 khí tích hợpGiai đoạn phát triển độ chính xác caoEZ-0730
Đột quỵ: 850 mm x 500 mmĐộ chính xác giữa các bước:<1 nm
-
kèo nhà cái w88 khíGiai đoạn trục ZCEZ-0745
Đột quỵ theo hướng z: 5 mmgóc quay: ± 3 °
-
kèo nhà cái w88 khíGiai đoạn chuyển động trục ZCEZ-4360
Đột quỵ theo hướng z: 310 mmBảng xoay chịu tải